1、真空泵的極限壓強(qiáng)
　　泵的極限壓強(qiáng) 單位是Pa，是指泵在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓強(qiáng)。
2、真空泵的抽氣速率
　　泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩，并按規(guī)定條件 工作時(shí)，從試驗(yàn)罩流過(guò)的氣體流量與在試驗(yàn)罩指定位置 測(cè)得的平衡壓強(qiáng)之比。簡(jiǎn)稱泵的抽速。

3、真空泵的抽氣量
　　真空泵 的抽氣量 單位是Pam3/s或Pal/s。是指泵入口的氣體流量。
4、真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng)
　　真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng)單位為Pa，它是指泵無(wú)損壞起動(dòng) 并有抽氣作用時(shí)的壓強(qiáng)。
5、泵的前級(jí)壓強(qiáng)
　　真空泵的前級(jí)壓強(qiáng)單位是Pa，它是指排氣壓強(qiáng)低于一個(gè)大氣壓的真空泵的出口壓強(qiáng)。
6、真空泵的最大前級(jí)壓強(qiáng)
　　真空泵口最大前級(jí)壓強(qiáng) 單位 是Pa，它是指超過(guò)了能使泵損壞的前級(jí)壓強(qiáng)。
7、真空泵的最大工作壓強(qiáng)
　　真空泵的最大工作壓強(qiáng)單位是Pa，它是指 對(duì)應(yīng)最大抽氣量的入口壓強(qiáng)。在此壓強(qiáng)下，泵能連續(xù)工作 而不惡化或損壞。
8、壓縮比
　　壓縮比是指泵對(duì)給定氣體的出口壓強(qiáng)與入口壓強(qiáng)之比。
9、何氏系數(shù)
　　泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽速 與該處按分子瀉流 計(jì)算的理論抽速之比。
10、抽速系數(shù)
　　泵的實(shí)際抽速與泵入口處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
11、返流率
　　泵的返流率單位是g/cm2.s。它是指泵按規(guī)定條件工作時(shí)，通過(guò)泵入口單位面積 的泵流質(zhì)量 流率。
12、水蒸氣允許量
　　水蒸氣的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常 環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。
13、最大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)
　　最大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)單位是Pa。它是指在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵 在連續(xù)工作時(shí) 所能抽除的水蒸氣的最高入口壓強(qiáng).